原位/在線小分子質(zhì)譜儀-安益譜原位/在線小分子質(zhì)譜儀 RGA6500特點(diǎn)介紹
安益譜小分子氣體分析質(zhì)譜RGA6500憑借其全金屬不銹鋼腔體、高效真空系統(tǒng)、靈活進(jìn)樣設(shè)計(jì)、高性能離子源與質(zhì)量分析器以及信號(hào)放大技術(shù)，在小分子氣體分析領(lǐng)域展現(xiàn)出卓越性能，成為高精度氣體檢測(cè)的可靠選擇。
一、全金屬不銹鋼腔體：穩(wěn)定與耐用的基石
- 材質(zhì)優(yōu)勢(shì)：RGA6500采用全金屬不銹鋼材質(zhì)打造質(zhì)譜腔體，這一設(shè)計(jì)具有多重優(yōu)勢(shì)。不銹鋼材質(zhì)具備出色的化學(xué)穩(wěn)定性，能有效抵抗小分子氣體（尤其是腐蝕性氣體如HCl、NH?等）的侵蝕，避免腔體被腐蝕導(dǎo)致的氣體吸附、泄漏等問題，保障儀器長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
- 高溫設(shè)計(jì)：腔體最高可加熱至200℃，這一特性對(duì)于分析易冷凝、易吸附的小分子氣體尤為關(guān)鍵。高溫環(huán)境能顯著減少小分子氣體在腔體壁面的吸附殘留，許多小分子氣體（如H?O、CO?）在常溫下易吸附于金屬表面，而高溫能打破氣體分子與腔體壁面的吸附作用力，降低殘留氣體對(duì)檢測(cè)結(jié)果的干擾，確保分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
- 高密封性：不銹鋼腔體的高密封性也為后續(xù)真空環(huán)境的建立提供了良好基礎(chǔ)，減少外界氣體滲入對(duì)檢測(cè)的影響。
二、高效真空系統(tǒng)：構(gòu)建純凈分析環(huán)境
無(wú)油隔膜泵：作為前級(jí)真空泵，無(wú)油隔膜泵采用無(wú)油設(shè)計(jì)，避免了傳統(tǒng)油泵因油污揮發(fā)導(dǎo)致的真空污染問題。油污揮發(fā)產(chǎn)生的有機(jī)蒸汽若進(jìn)入質(zhì)譜腔體，會(huì)與小分子氣體競(jìng)爭(zhēng)電離，干擾檢測(cè)信號(hào)，甚至污染離子源與質(zhì)量分析器。無(wú)油隔膜泵能穩(wěn)定提供低真空基礎(chǔ)，為后續(xù)渦輪分子泵的啟動(dòng)與高效運(yùn)行創(chuàng)造條件。
高性能渦輪分子泵：作為主真空泵，高性能渦輪分子泵抽速高、極限真空度高，能快速將腔體真空度提升至小分子氣體電離與分離所需的高真空狀態(tài)。高真空環(huán)境可減少氣體分子間的碰撞概率，避免小分子氣體離子在傳輸過程中因碰撞而損失，同時(shí)降低背景氣體對(duì)目標(biāo)氣體檢測(cè)的干擾，提升儀器靈敏度。
全量程真空規(guī)：儀器配備的全量程真空規(guī)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并顯示真空系統(tǒng)的壓力變化，覆蓋從大氣壓到高真空的全壓力范圍。這一設(shè)計(jì)使得用戶能夠直觀掌握儀器真空狀態(tài)，及時(shí)調(diào)整優(yōu)化真空條件，確保分析過程的穩(wěn)定性和可靠性。
三、靈活進(jìn)樣設(shè)計(jì)：適配多樣化檢測(cè)需求
外置加熱套不銹鋼管進(jìn)樣：不銹鋼管外置最高350℃的加熱套，適用于易冷凝、高沸點(diǎn)的小分子氣體（如高濃度H?O、低碳烷烴混合物）或含微量易吸附雜質(zhì)的氣體樣品。350℃的高溫加熱可防止氣體在進(jìn)樣管內(nèi)冷凝，部分小分子氣體（如H?O在低溫下易凝結(jié)成液態(tài)，堵塞進(jìn)樣管），同時(shí)減少氣體在進(jìn)樣管內(nèi)壁的吸附殘留，確保樣品能完整、均勻地進(jìn)入質(zhì)譜腔體。不銹鋼管的化學(xué)穩(wěn)定性與高密封性，也能避免進(jìn)樣過程中樣品被污染或泄漏。
石英毛細(xì)管進(jìn)樣：石英毛細(xì)管具有化學(xué)惰性強(qiáng)、熱穩(wěn)定性好的特點(diǎn)，適用于微量、低濃度小分子氣體樣品（如半導(dǎo)體制造中的痕量雜質(zhì)氣體、環(huán)境中的微量有害氣體）。毛細(xì)管的細(xì)孔徑（通常為幾十至幾百微米）可實(shí)現(xiàn)樣品的微量、精準(zhǔn)進(jìn)樣，避免大量樣品進(jìn)入腔體導(dǎo)致真空度驟降；同時(shí)，石英材質(zhì)不易吸附小分子氣體，能減少樣品損失，保障檢測(cè)的靈敏度與準(zhǔn)確性。
雙進(jìn)樣通道切換：兩種進(jìn)樣方式可根據(jù)實(shí)際樣品需求靈活切換，拓寬了儀器的應(yīng)用范圍，滿足了不同用戶在不同場(chǎng)景下的檢測(cè)需求。
四、高性能離子源與質(zhì)量分析器：精準(zhǔn)捕獲與篩選目標(biāo)氣體
開放式電子轟擊離子源：RGA6500采用開放式電子轟擊離子源，針對(duì)小分子氣體的電離特性進(jìn)行優(yōu)化。其工作原理為：通過燈絲發(fā)射高能電子（通常為70eV標(biāo)準(zhǔn)電離能量），電子與進(jìn)入離子源的小分子氣體分子發(fā)生碰撞，打破氣體分子的化學(xué)鍵，使分子電離成帶正電的離子（如H?→H??、CO→CO?）。
開放式設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)在于：離子源內(nèi)部空間開闊，小分子氣體能均勻分布并與電子充分碰撞，電離效率高；同時(shí)，開放式結(jié)構(gòu)便于清潔與維護(hù)，減少離子源內(nèi)殘留氣體對(duì)后續(xù)樣品檢測(cè)的干擾。對(duì)于小分子氣體而言，70eV的電子能量能使其產(chǎn)生特征性強(qiáng)的離子碎片，不同小分子氣體的離子碎片質(zhì)荷比（m/z）具有獨(dú)特性，這些特征離子為后續(xù)質(zhì)量篩選與定性分析提供了清晰的“分子指紋”。
全金屬雙曲面四極桿質(zhì)量分析器：RGA6500采用全金屬雙曲面四極桿作為質(zhì)量分析器，這是實(shí)現(xiàn)小分子氣體精準(zhǔn)分離與篩選的核心部件。雙曲面四極桿由四根平行的金屬桿組成，通過在桿上施加特定頻率與幅值的射頻電壓和直流電壓，形成周期性變化的電場(chǎng)。當(dāng)帶電離子進(jìn)入電場(chǎng)后，只有質(zhì)荷比（m/z）符合特定條件的離子才能穩(wěn)定通過四極桿，到達(dá)檢測(cè)器，從而實(shí)現(xiàn)質(zhì)量篩選。全金屬材質(zhì)賦予四極桿出色的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性與抗干擾能力，而雙曲面設(shè)計(jì)則能大幅提升離子篩選的分辨率與效率。通過調(diào)節(jié)四極桿的電場(chǎng)參數(shù)，可精準(zhǔn)篩選出目標(biāo)質(zhì)量數(shù)的離子，有效排除雜質(zhì)離子的干擾，確保只有目標(biāo)離子進(jìn)入后續(xù)檢測(cè)環(huán)節(jié)。
五、信號(hào)放大輸出：提升檢測(cè)靈敏度
電子倍增器：經(jīng)過質(zhì)量篩選的目標(biāo)離子，最終到達(dá)電子倍增器進(jìn)行信號(hào)處理。電子倍增器能將微弱的離子信號(hào)快速、高效地放大，即使是痕量目標(biāo)離子產(chǎn)生的微弱信號(hào)，也能被精準(zhǔn)捕捉并放大輸出，大幅提升了儀器的檢測(cè)靈敏度。放大后的信號(hào)可轉(zhuǎn)化為直觀的檢測(cè)數(shù)據(jù)，為工作人員分析氣體成分、判斷樣品特性提供清晰、準(zhǔn)確的依據(jù)。電子倍增器具有高增益和低噪聲的特點(diǎn)，其高增益特性確保了信號(hào)的充分放大，而低噪聲特性則減少了信號(hào)放大過程中的背景干擾，提高了信噪比，進(jìn)一步提升了檢測(cè)的準(zhǔn)確性和可靠性。
