小分子質譜儀-安益譜RGA6500小分子氣體分析質譜儀技術特點與應用
RGA6500是一款專為真空環(huán)境中小分子氣體成分分析設計的殘余氣體分析儀，其硬件配置體現了工業(yè)級質譜的耐用性與精準性。
典型應用場景
1. 半導體制造
- 監(jiān)測刻蝕、沉積工藝腔室的殘余氣體（H?O、O?、碳氟化合物），保障工藝純度
- 檢測真空泵油返流污染，預防產品缺陷
2. 真空鍍膜與材料科學
- 實時監(jiān)控鍍膜腔室氣體成分，優(yōu)化工藝參數
- 分析材料放氣特性（如H?、CO、CO?釋放），評估真空兼容性
3. 科研與工業(yè)真空系統(tǒng)
- 真空設備檢漏與故障診斷（He檢漏峰值m/z 4）
- 真空烘箱、手套箱等密閉環(huán)境氣體純度驗證
操作維護要點
- 烘烤除氣：新安裝或暴露大氣后，烘烤24小時以達到本底真空
- 防污染：避免腔室暴露有機物蒸氣，否則需高溫清洗或離子源更換
- 校準：定期使用標準氣體校準質量軸與靈敏度，確保定量準確
- 真空保護：電子倍增器需在<10?? mbar下開啟，防止高壓放電損壞
